無塵室標準潔凈室(無塵車間)等級劃分

網站編輯 2022-11-01 13:43:46 閱讀


無塵室標準/潔凈室無塵車間)等級劃分
無塵室(潔凈室)根據潔凈程度不同分很多等級。目前各行業無塵室等級大都為1000級和100級的居多,數字越小,潔凈等級越高。
一、無塵室概念
無塵室(潔凈室)1000級的概念是:每立方英尺內,大于等于0.5的灰塵顆粒不能超過1000顆 ;
無塵室(潔凈室)100級的概念是:每立方英尺內,大于等于0.3的灰塵顆粒不能超過100顆 ;
注意了:每個等級所管控的顆粒大小也不一樣;
依據美國聯邦政府頒布的標準,可將無塵室(潔凈室)分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級;
如果無塵室(潔凈室)的等級只用塵粒數目來敘述,則可假設塵粒的尺寸不是0.5um,無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如:10級在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下,密不大于75顆/立方英尺),1級在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下,密度(單位:g/cm3或kg/m3)不大于35顆/立方英尺)。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度必須優于1000級。
二、無塵室分類
1、亂流式(Turbulent Flow):
空氣由空調箱經風管與無塵車間內之空氣過濾器(作用:過濾雜質等)(HEPA)進入潔凈室,并由無塵車間兩側隔間墻板或高架地板回風。靜壓差由于層流流量計適用于層流流動狀態,從流體力學的角度分析是適用于低雷諾數下的流動。流 體在流動過程中粘性力占主導地位。 由于粘性力的影響,流體在流動過 程中將造成壓力能的損耗,使壓力 下降。在穩定流動過程中,流體的壓力損失與流體粘度及流量之間存在固定的關系。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。
優點:構造簡單、系統建造成本低,潔凈室之擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高無塵車間等級。
缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制程產品。另外若系統停止運轉再激活,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當長一段時間。
2、層流式(Laminar):
層流式空氣氣流運動成一均勻(jūn yún)之直線形,空氣由覆蓋(Cover)率100%之過濾器(作用:過濾雜質等)進入室內,并由高架地板或兩側隔墻板回風,此型式適用于潔凈室等級需求較高之環境使用,一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種:
(1)無塵車間水平層流式:水平式空氣自過濾器(作用:過濾雜質等)單方向吹出,由對邊墻壁之回風系統回風,塵埃隨風向排出室外,一般在下流側污染較嚴重。
優點:構造簡單,運轉后短時間內即可變成穩定(解釋:穩固安定;沒有變動)。
缺點:建造費用比亂流式高,室內空間不易擴充。
(2)無塵車間垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器(作用:過濾雜質等)覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^域。
優點:管理容易,運轉開始短時間內即可達穩定(解釋:穩固安定;沒有變動)狀態,不易為作業狀態或作業人員所影響。
缺點:構造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。
3、復合式(Mixed Type):
復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。
(1)無塵車間潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器(作用:過濾雜質等)將制程區域或工作區域100%覆蓋(Cover)使潔凈度等級提高至10級以上,可節省(spare)安裝運轉費用。此型式需將作業人員之工作區 與產品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品質(Character),ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優點:A.彈性擴充容易;B.維修設備時可在維修區輕易執行。
(2)無塵車間潔凈管道(Clean Tube):將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離,少量之送風即可得到良好之潔凈度,可節省能源,不需人工的自動化生產線為最適宜使用。藥品、食品業界及半導體(semiconductor)業界均適用。
(3)無塵車間并裝局部(part)潔凈室(Clean Spot):將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產(Produce)之用;即屬此類。
(4)潔凈工作臺:等級Class 1~100級。凈化車間檢測換氣次數:100000級≥15次;10000級≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa平均風速:10級、100級0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動±2℃。
(5)潔凈工作棚:為在亂流式之潔凈室空間內以防靜電(是一種處于靜止狀態的電荷)之透明塑料(結構:合成樹脂、增塑劑、穩定劑、色料)布圍成一小空間,采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較高級之潔凈空間,其等級為10~1000級,高度在2.5米左右,覆蓋(Cover)面積約10M2以下,四支支柱并加裝活動輪,可為彈性運用。
三、無塵車間-無塵室(潔凈室)標準等級
現今一般多奉行與美國所制定的聯邦規格(specifications),BCR則多參考明定生物粒子限制值的NASA規格)。懸浮粒子潔凈除了使用人員日常管理外,對潔凈區空調系統和潔凈區的空氣凈化設備一年大修一次,在生產期間如遇異常情況應及時檢修,大修后要驗證。 其Fed.std清潔度的表示法為:1ft3空氣中,含有多少個0.5μm(micro)以上的微粒子,及稱為[等級○○]。例如:空氣中含有10個0.5以下時,表示為“等級10”。二自然界大氣中通常含有300000~個微粒子。 在JIS標準下,無塵室清潔度,共分為8個等級一般清潔度是指空氣的潔凈等級,分為等級1、2???8,8階段。在1立方公尺的空氣中,粒徑0.1微米的灰塵若是在10個以下時為1;百個以下是100=102是等級2;千個以下時是1000=103等級3,依次類推。
美國聯邦標準209E(1992年)PC/ft3潔凈度級別:粒徑(um)
0.1
0.1
0.3
0.5
5.0
1
35
7.5
3
1
NA
10
350
75
30
10
NA
100
NA
750
300
100
NA
1000
NA
NA
NA
1000
7
10000
NA
NA
NA
10000
70
100000
NA
NA
NA
100000
700
公司供應無塵車間等級/無塵室級別/潔凈工程潔凈等級標準/無塵室等級劃分/無塵車間標準。

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